閉路循環(huán)是利用有效處理方法，使廢水達(dá)到循環(huán)利用的要求。
閉路循環(huán)是指在生產(chǎn)中采取一些特殊的處理工藝，將產(chǎn)生的廢棄物回收利用，對(duì)外無排放，無污染，實(shí)現(xiàn)循環(huán)利用的過程，從而降低能耗，節(jié)約成本，并且有利環(huán)境。如多晶硅生產(chǎn)均采用閉路循環(huán)工藝流程，使副產(chǎn)物（如四氯化硅等）得以合理、充分的利用。

沸騰干燥機(jī)能通過粉體造粒，改善流動(dòng)性，減少粉塵飛揚(yáng)；通過粉體造粒改善其溶解性能；混合、制粒、干燥在一機(jī)內(nèi)完成一步法制粒；采用抗靜電濾布，設(shè)備操作安全；設(shè)置壓力泄放孔，一旦發(fā)生爆炸，設(shè)備操作人員傷害幾率?。辉O(shè)備無死角，裝卸料輕便快速，沖洗干凈，滿足GMP規(guī)范。
沸騰干燥機(jī)，是一種干燥設(shè)備，又稱流化床，一般由加熱器、沸騰床主機(jī)、旋風(fēng)分離器、布袋除塵器、引風(fēng)機(jī)、操作臺(tái)組成。根據(jù)物料的性質(zhì)不同，可按需要選配旋風(fēng)分離器或布袋除塵器。
沸騰干燥機(jī)是利用空氣經(jīng)熱交換器加熱后，形成熱風(fēng)經(jīng)閥板分配進(jìn)入主機(jī)，濕物料從加料器進(jìn)入干燥機(jī)，由于風(fēng)壓的作用，物料在干燥機(jī)內(nèi)形成沸騰狀態(tài)，并與熱空氣進(jìn)行廣泛接觸，從而在較短時(shí)間完成物料烘干。